Прямоугольные перепускные клапана
Главная сцена / затворы / Прямоугольные перепускные клапана
Перепускные клапана и затворы

Прямоугольные перепускные клапана

  • Малая вибрация и отсутствие загрязнения.
  • Сдвоенные пневмоцилиндры, один приводной вал.
  • Защитное самозапирание при потере давления воздуха.
  • Быстрая разборка затвора, простая замена уплотнительных колец круглого сечения
детали

Прямоугольные перепускные клапана HTC используют технологию прямого привода. Корпус клапана имеет соответствующий размер и компактную конструкцию. Все подвижные части расположены на атмосферной стороне, что исключает загрязнение вакуумной стороны и продлевает срок службы. Другие преимущества включают самозапирание затвора при потере давления воздуха, легкую разборку затвора для технического обслуживания и т.д. 

 

Прямоугольные вакуумные перепускные клапана широко используются в установках для нанесения покрытий при производстве полупроводников, оптоэлектронной промышленности. В большинстве случаев клапана устанавливаются на камерах со шлюзовой загрузкой между камерой загрузки и шлюзовой камерой, а также между шлюзовой камерой и технологической камерой. Они обеспечивают вакуум при загрузке и технологическом процессе.
 

Пример установки прямоугольных вакуумных клапанов на многокамерной вакуумной установке
Прямоугольные перепускные клапана

Принцип конструкции / особенности

l   Малая вибрация и отсутствие загрязнения.
l   Кулачковый механизм и самозапирание пружиной.
l   Сдвоенные пневмоцилиндры, один приводной вал.
l   Вспомогательный толкающий механизм вала привода.
l   Защитное самозапирание при потере давления воздуха.
l   Быстрая разборка затвора, простая замена уплотнительных колец круглого сечения.
l   Срок службы составляет миллион циклов.

Классификация

l   Стандартные прямоугольные перепускные клапана
l   Прямоугольные затворы
l   Большие прямоугольные перепускные клапана
l   Большие прямоугольные затворы 

Материал корпуса

Алюминий или нержавеющая сталь

назад